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发明名称 Optische Vorrichtung mit einem optischen Bauelement und mit einer Verstelleinrichtung und Verfahren zur Beeinflussung eines Polarisationszustands des optischen Bauelements
摘要
申请公布号 DE102006022957(A8) 申请公布日期 2008.01.17
申请号 DE200610022957 申请日期 2006.05.11
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 MELZER, FRANK
分类号 G02B26/06;G02B7/02;G03F7/20;H02N2/02 主分类号 G02B26/06
代理机构 代理人
主权项
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