发明名称 Erzeugung von elektromagnetischer Strahlung, insbesondere Röntgenstrahlung
摘要 Die Erfindung betrifft eine Anordnung (31) zur Erzeugung von elektromagnetischer Strahlung, insbesondere von Röntgenstrahlung oder extremer Ultraviolett-Strahlung, mit einem Target (5), in dem beim Betrieb der Anordnung durch auftreffende Teilchen die Strahlung erzeugt wird, einer Basis (7), wobei die Basis (7) an einer ersten Seite der Basis mit dem Target (5) verbunden ist, einer Leitung für Kühlflüssigkeit, um beim Betrieb der Anordnung das Target (5) zu kühlen, wobei die Leitung einen Basis-Leitungsabschnitt aufweist, der sich entlang einer der ersten Seite der Basis (7) gegenüberliegenden zweiten Seite der Basis (7) erstreckt.
申请公布号 DE102006032606(A1) 申请公布日期 2008.01.17
申请号 DE200610032606 申请日期 2006.07.11
申请人 CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH 发明人 ERLER, MARCO
分类号 H01J35/10;H01J35/12;H05G2/00 主分类号 H01J35/10
代理机构 代理人
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