摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines verkappten Sensorelements, umfassend die Schritte Bereitstellen eines Substrats (1) mit einer Sensorstruktur (2), wobei die Sensorstruktur (2) mittels eines Opfermaterials (3) in dem Substrat (1) erzeugt wird, Anbringen einer Kappe (4) aus Zeolith auf die Sensorstruktur (2) und das Opfermaterial (3), Entfernen des Opfermaterials (3), wobei das Opfermaterial (3) durch die Kappe (4) aus Zeolith hindurch entfernt wird. Ferner betrifft die Erfindung ein Sensorelement mit Verkappung.
|