发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements sowie Sensorelement
摘要 Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines verkappten Sensorelements, umfassend die Schritte Bereitstellen eines Substrats (1) mit einer Sensorstruktur (2), wobei die Sensorstruktur (2) mittels eines Opfermaterials (3) in dem Substrat (1) erzeugt wird, Anbringen einer Kappe (4) aus Zeolith auf die Sensorstruktur (2) und das Opfermaterial (3), Entfernen des Opfermaterials (3), wobei das Opfermaterial (3) durch die Kappe (4) aus Zeolith hindurch entfernt wird. Ferner betrifft die Erfindung ein Sensorelement mit Verkappung.
申请公布号 DE102006031772(A1) 申请公布日期 2008.01.17
申请号 DE200610031772 申请日期 2006.07.10
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 FEYH, ANDO
分类号 B81C1/00;B81B1/00 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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