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发明名称 Veränderbare Temperaturprozesse für verstellbare elektrostatische Haltevorrichtung
摘要
申请公布号 DE60313861(T2) 申请公布日期 2008.01.17
申请号 DE20036013861T 申请日期 2003.03.25
申请人 LAM RESEARCH CORP. 发明人 KAMP, TOM A.;GOTTSCHO, RICHARD;LEE, STEVE;LEE, CHRIS;YAMAGUCHI, YOKO;VAHEDI, VAHID;EPPLER, AARON
分类号 H01L21/3065;H01L21/324;H01L21/00;H01L21/311;H01L21/68;H01L21/683;H01L21/768 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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