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发明名称
Herstellungsverfahren einer Anordnung mit einem Verbindungshalbleiter-Kristall und Herstellungsverfahren einer Verbindungshalbleiterschichten-Struktur
摘要
申请公布号
DE69738342(D1)
申请公布日期
2008.01.17
申请号
DE1997638342
申请日期
1997.09.29
申请人
CANON K.K.
发明人
OUCHI, TOSHIHIKO
分类号
C30B29/40;B82Y10/00;B82Y20/00;B82Y40/00;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/318;H01S5/00;H01S5/12;H01S5/183;H01S5/323;H01S5/34;H01S5/343
主分类号
C30B29/40
代理机构
代理人
主权项
地址
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