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发明名称 Induktiv-gekoppelte Plasmabehandlungskammer
摘要
申请公布号 DE69838823(D1) 申请公布日期 2008.01.17
申请号 DE1998638823 申请日期 1998.05.19
申请人 EUROPEAN COMMUNITY 发明人 COLPO, PASCAL;ROSSI, FRANCOIS;DAVIET, JEAN-FRANCOIS;ERNST, ROLAND
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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