感测电子束之感测器及其系统

摘要

本发明揭示一种用于感测一电子束产生器朝向一目标区域内一目标沿一路径所产生之一电子束之一强度之感测器（10），该电子束系透过一发射窗口（24）而从该产生器发射。该感测器（10）之特征在于其包含位于该路径内并连接至一电流侦测器之至少一传导层（28）之至少一区域（26），且该至少一传导层（28）之各该区域（26）系藉由一护罩（32）而彼此、与周围环境及该发射窗口（24）实质上屏蔽开，该护罩（32）系形成于该发射窗口（24）上。本发明亦关于一种包含该感测器之系统。