基板检查夹具

摘要

本发明的课题是在于不伤焊锡凸块的测定表面，弄破除此以外表面上的氧化膜，藉此使探针与凸块的导通接触状态形成良好。有关具备探针17及保持手段的检查夹具，该探针17系一方的端部接触于被检查基板中所被设置的焊锡凸块21，另一方的端部接触于检查被检查基板的检查装置的电极部；该保持手段系用以保持探针。在此检查夹具中，探针的一方端部具有角部17b，该探针的角部会抵接于焊锡凸块的表面曲面。