干涉仪及应用该干涉仪之显微镜

摘要

一种干涉仪，包括一光源单元、一第一分光镜、一参考光路单元以及一收光单元。光源单元提供一雷射光束。一第一分光镜从该光源单元接受该雷射光束，并将该雷射光束分离为一第一光束以及一第二光束。参考光路单元包括一频率调制器，一光阻隔器以及一球面镜，该频率调制器的中心点位于该球面镜的曲率中心，其中，该第一光束从该第一分光镜被传递至该频率调制器，该频率调制器将该第一光束分离为一绕射光以及一零阶光，该绕射光射至该球面镜，并由该球面镜反射，沿相同路径反还该频率调制器，经过该频率调制器后成为一参考光束。收光单元从该参考光路单元接收该参考光束。