单晶矽晶圆的COP发生因素判定方法

摘要

将对象之晶圆之判定区域于半径方向分割成同心圆状，针对各经过分割之判定区域求取COP之密度，其最大值为COP密度半径MAX、最小值为COP密度半径MIN，将利用「（COP密度半径MAX-COP密度半径MIN）／COP密度半径MAX」计算所得之值与预定之设定值进行比较，在明确之基准下，区分非结晶起因之COP及结晶起因之COP，执行COP发生因素之判定。藉此，可以救济非结晶起因之COP被判定成结晶起因之COP而不合格之晶圆，而提高晶圆之制造良率。