旋涂系统及用于其液体回收之方法

摘要

一种旋涂系统，包括一旋涂机、一第一管线、一导出装置、一第一回收管线以及一侦测装置。第一管线用以导入一第一液体至旋涂机。导出装置用以导出流经旋涂机之第一液体，其中导出装置具有一切换装置。第一回收管线连接至导出装置。侦测装置设置于第一管线中，并电性连接至切换装置。其中，当第一液体流经于第一管线中时，侦测装置传送讯号至切换装置，使得来自于旋涂机中之第一液体，可经由导出装置，流入于第一回收管线中。