具有磁性支持之高生产率沈积装置

摘要

一种装置，用以将一或多个薄膜层沈积至一或多个连续卷材或离散基材上。该装置包含：一供应单元，用以分散一或复数个卷材；一沈积单元，将一系列之一或多个薄膜层沈积于其上；及一接收单元，在沈积后接收并储存卷材。在一较佳实施例中，经由电浆增强化学气相沈积来进行沈积，其中电浆区域系形成在沈积单元中之阴极与一或多个垂直地定向之卷材之间。本沈积装置包含一支持系统，其用以导引及稳定一或多个卷材或基材传送通过沈积室。支持系统包含一磁性导引组合件及一边缘稳定组合件，以操作仰制卷材或基材在非传送通过装置之方向的方向上的移动之扰动。