用以净化及输送羰基金属前驱物之方法及整合的系统

摘要

本发明提供一种用以净化及输送羰基金属前驱物之方法及整合的系统，用以处理一基板。该方法包括提供该羰基金属前驱物，其含有未反应的羰基金属前驱物及含有金属的杂质，于一金属前驱物汽化室中，其含有一前驱物收集板；抽空该金属前驱物汽化室；藉由一含有CO的气体加压该金属前驱物汽化室；汽化该未反应的羰基金属前驱物；及凝结该汽化的未反应的羰基金属前驱物于该前驱物收集板上，成为一净化的羰基金属前驱物。该方法得更包括汽化该净化的羰基金属前驱物，及藉由使一含有CO的气体经由该金属前驱物汽化室流入一沉积系统而输送一处理气体，其含有该净化的羰基金属前驱物之该蒸气，该沉积系统用以使一基板暴露该处理气体。