| 摘要 |
本发明有关一种电路及方法，用于快速地熄灭系形成于与离子植入系统之离子源相关联的高压提取及／或抑制电极之间的电弧，以便例如缩短电弧的期间及减轻不均匀的离子植入。该电路及方法亦助成其中在该处侦测出电弧之该等区域上之离子束的再制，以回复在该电弧之期间的任何剂量损失。高压高速切换电路系添加于各个高压供应器与其个别电极之间，以快速地熄灭系实质放电该供应的高压电容器及破坏慢回复的离子束电流之电弧。高压开关系由触发电路所控制，该触发电路针对各个电极而侦测电压或电流改变。用于高压开关的保护电路吸收来自电抗组件的能量及箝位任何过量电压，以保护该等高压开关。 |
