具缩放物镜之照明系统

摘要

本案揭示一种反光照明系统，其具有放射一辐射的一光来缘，其中该辐射照明一场平面中的一场，并同时于一瞳孔平面中提供一照明，其中在该瞳孔平面中被照明区域的大小可以连续变化，且其中该照明系统包括复数光学元件，其排列成使该辐射从该来源被导向至该场平面与该瞳孔平面。