装置基板之洗净方法

摘要

本发明系提供一种可充分除去附着于装置基板之光阻，尤其，附着于长宽比大之微细图案的孔部之光阻的装置基板之洗净方法。本发明之装置基板之洗净方法，系具备使用溶剂而除去附着于装置基板之光阻的洗净步骤，其特征在于：该溶剂为含有：至少一种选自由氢氟醚、氢氟碳化物及全氟碳化物所构成之群中的含氟化合物、与含氟醇之组成物。