光波导装置及其制造方法

摘要

一种光波导装置，其包含光波导部及光子装置安装部。在高温退火后，图案化用以形成台座块的遮罩，发光装置系安装于此台座块上。因此，即使在制造处理期间装置会受到高温下的热处理，但却完全不会影响遮罩。此能够形成具有高精准度之脚柱块。因此，能够在将发光装置安装至台座块上时达到高精准度之光耦合。