| 摘要 |
本发明揭示一种电子束记录装置，其藉由使用电子束将资讯记录至样本表面上，该电子束记录装置包括：电子源，其发射该电子束；磁性检波器，其被配置成移至及移出照射轴，且获得该照射轴上之磁性资讯；会聚位置控制部位，基于该磁性检波器所获得的该磁性资讯，该会聚位置控制部位计算相对于该样本表面来校正该电子束的会聚位置之会聚位置校正量；及会聚位置调整部位，其相对于该样本表面来调整该电子束的该会聚位置；其中基于该会聚位置校正量，该会聚位置控制部位致使该会聚位置调整部位来调整相对于该样本的位置之该电子束的该会聚位置。 |
