在反应性气体产生器中提供功率以引发及维持电浆之方法及装置

摘要

本发明揭示一种在反应性气体产生器中提供功率以引发电浆之电源供应及方法，根据第一方面，其包括：（i）将一串联共振电路耦合于一切换电源与一变压器之间，该串联共振电路包含一共振电感器与一共振电容器，该变压器具有一变压器初级及一电浆次级；（ii）横跨该变压器初级从该共振电容器提供一实质上共振交流电压，从而在该变压器初级内感应一实质上共振电流以产生该电浆次级；以及（iii）在产生该电浆次级后，该共振电感器限制流向该切换电源供应之电流。依据另一方面，可以结合电感能量耦合来使用双极高电压引发电极以辅助引发电浆。