| 摘要 |
课题提供在被处理基板W的上面的温度分布少紊乱的基板处理装置。解决手段藉由伸缩机构7来下降下壳3，在上壳2与下壳3之间制作机器人12的臂部可进入的空间。从此状态，将载置于机器人12的臂部的被处理基板W插入到加热板8的上方。之后，将气缸单元11予以作动令支撑销10上昇，从机器人12的臂部将被处理基板W接受于支撑销10上，然后，令机器人12的臂部后退，同时令支撑销10下降，俾将被处理基板W载置于加热板8上。与此同时进行，以伸缩机构7的作动令下壳3上昇，使得安装于下壳3的上端面3a的封闭构件6抵接于上壳2的下端面2a，上壳2与下壳3被一体化而在内部形成有气密的空间。 |
