合金探针之微机电制程

摘要

揭示一种合金探针之微机电制程。在一基板上依序形成一探针之一第一表面层、一第一导电层、一核心层、一第二导电层以及一第二表面层。其中，该第一导电层之宽度系小于该第一表面层之宽度，以使该第一表面层系具有环绕该第一导电层之显露边缘。而该第二表面层系两侧延伸至该第一表面层之显露边缘，以包覆该核心层、该第一导电层及该第二导电层。藉由此一微机电制程所制成之合金探针能解决核心层氧化之问题。