具有障壁之积体电路装置及其之制造方法

摘要

一种积体电路装置包括一个半导体晶粒，该半导体晶粒包括一个半导体基体、沿着该半导体晶粒之周缘区域设置的驱动／控制电路、一个设置于该半导体晶粒之区域之内的MEMS装置、及一个设置于该驱动／控制电路与该MEMS装置之间的障壁。