感光性有机膜用显影液组成物

摘要

本发明提供一种对A1之防蚀性优异且显影性亦良好之感光性有机膜（主要为光阻）用显影液。本发明为一种感光性有机膜（主要为光阻）用显影液组成物，含有氢氧化四烷基铵0.5～5重量％、山梨糖醇及木糖醇等糖醇10～40重量％、亚类、乙二醇醚类、醯胺类等水溶性有机溶剂3～19重量％及残余部分之水，对感光性有机膜（主要为光阻）之曝光部之溶解速度、与对感光性有机膜（主要为光阻）之未曝光部之溶解速度的比为50以上。