线状分布半导体工件的处理工具

摘要

本发明揭述一种基板处理装置，包括有可维持其内之隔离氛围并联通式连接于装载站以将基板装卸于装置之输送舱，设在输送舱内以输送基板及沿着输送舱分布之处理舱模组阵列，并联通式连接于输送舱以供基板转移其间之输送系统。