发明名称 | TFT LCD玻璃基板的蚀刻槽结构 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种TFT LCD玻璃基板的蚀刻槽结构,包含有一具有容置槽的本体,该容置槽底部分别连通有一进水管、出水管及一排水管,且该容置槽内部的两端系分别具有一上喷嘴组及下喷嘴组;以及分别设于容置槽两侧的冲击单元,各冲击单元分别具有一推出口,且该容置槽底部两侧分别具有一吸入口。这样,可使该蚀刻槽同时具有蚀刻及清洗的功能,可以缩短蚀刻时间及简化蚀刻过程,且于蚀刻及清洗时可达到均匀冲击的效果。 | ||
申请公布号 | CN201006858Y | 申请公布日期 | 2008.01.16 |
申请号 | CN200720005821.X | 申请日期 | 2007.02.27 |
申请人 | 睿明科技股份有限公司 | 发明人 | 王泊可 |
分类号 | C03C15/00(2006.01) | 主分类号 | C03C15/00(2006.01) |
代理机构 | 北京汇智英财专利代理事务所 | 代理人 | 刘祖芬 |
主权项 | 1.一种TFT LCD玻璃基板的蚀刻槽结构,其特征在于,其包括有:一本体,该本体具有一容置槽,该容置槽底部分别系连通有一进水管、出水管及一排水管,且该容置槽内部的两端分别具有一上喷嘴组及下喷嘴组,并于其底部两侧分别具有一吸入口且与一泵相连接;以及冲击单元,各冲击单元分别设置于上述容置槽的两侧,且各冲击单元分别具有一推出口并连接于该泵。 | ||
地址 | 中国台湾桃园县八德市和成路33号 |