用于MEMS高温压力传感器自动阳极键合的加热装置

摘要

本发明提供的是一种用于MEMS高温压力传感器自动阳极键合的加热装置。它包括底板，在底板上安装有支架，在支架上安装有加热块，加热块的四周设置有散热片，加热块的一侧加工有用来安放加热棒的圆孔，在加热块的另一侧有用来安装温度传感器的圆孔，加热棒和温度传感器安装在加热块上的相应的圆孔中，在加热块的一侧设置夹具和与夹具相配合的夹具气缸，夹具上带有复位弹簧，在加热块的另一侧设置封装头和封装头驱动气缸，夹具、封装头与其连接件之间有绝热连接器。本发明是基于PC控制的多路键合的加热炉装置。实现在上位机控制下多路加工点同时进行芯片键合功能，大大提高了生产效率。

主权项

1.一种用于MEMS高温压力传感器自动阳极键合的加热装置，它包括底板，在底板上安装有支架，其特征是：在支架上安装有加热块，加热块的四周设置有散热片，加热块的一侧加工有用来安放加热棒的圆孔，在加热块的另一侧有用来安装温度传感器的圆孔，加热棒和温度传感器安装在加热块上的相应的圆孔中，在加热块的一侧设置夹具和与夹具相配合的夹具气缸，夹具上带有复位弹簧，在加热块的另一侧设置封装头和封装头驱动气缸，夹具、封装头与其连接件之间有绝热连接器。