位移探测装置以及位移探测方法

摘要

本发明的目的在于，在共振型位移探测装置中，降低或者排除共振电路的特性变化的影响，来提高位移探测精度。在位移探测系统(10)中，预先估计共振电路(21)所能取的共振频率范围，决定驱动频率的变动范围f1～f2使其包括已估计的共振频率范围，由可变振荡器(30)在第1频率f1～第2频率f2之间重复变化驱动频率。因此，在共振电路21的共振频率为fr1的情况下，在驱动频率变化为fr1时，可以得到间隙G大时的共振电压Vg11。另外，在共振电路21的共振频率为fr2的情况下，在驱动频率变化为fr2时，可以得到间隙G大的共振电压Vg12。

主权项

1.一种位移探测系统，其探测探测对象物，并具有多个位移探测装置，其特征在于，上述多个位移探测装置的各自，具备：可变频率振荡电路，其振荡产生第1频率与第2频率之间的多个频率；驱动电路，其将上述可变频率振荡电路振荡的频率叠加在驱动电压上施加给共振电路；共振电路，其具有与上述探测对象物相向的检测用线圈，并输出与由上述驱动电路所施加的上述多个频率对应的多个电压；和位移检测器，其根据由上述共振电路输出的多个电压的变化来检测上述探测对象物的位移，上述位移检测器根据与上述探测对象物和上述检测用线圈的位置关系的变化以及上述驱动电路所施加的频率对应变化的电压来检测上述探测对象物的位移，该电压是由上述共振电路输出的多个电压。