| 发明名称 | 静电卡盘 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种具有双电极的静电卡盘。本发明静电卡盘包括绝缘层和设置在绝缘层内的电极，其中电极包括正电极和负电极，所述正电极和负电极拼接在一起形成圆形，正电极由位于位置的圆形部分和与该圆形部分一体的偶数个均匀分布的扇形部分组成。本发明的静电卡盘的优点和积极效果在于：由于正电极和负电极拼接在一起形成圆形，负电极由位于位置的圆形部分和与该圆形部分一体的偶数个均匀分布的扇形部分组成，所以在整圆的360度范围内，均匀分布，且严格对称，很好地实现了静电引力的均匀对称性，不会让晶片出现向一边倾斜的现象。 | ||
| 申请公布号 | CN100362644C | 申请公布日期 | 2008.01.16 |
| 申请号 | CN200510126348.6 | 申请日期 | 2005.12.07 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 吉美爱 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01) | 主分类号 | H01L21/687(2006.01) |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王常风 |
| 主权项 | 1.静电卡盘，包括绝缘层和设置在绝缘层内的电极，其中电极包括正电极(1)和负电极(2)，其特征在于所述正电极(1)和负电极(2)拼接在一起形成圆形，负电极(2)由位于中央位置的圆形部分和与该圆形部分一体的偶数个均匀分布的扇形部分组成。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 | ||