发明名称 晶片移栽机放片装置
摘要 一种晶片移栽机放片装置,它由电机驱动同步带轮及同步带,滑块固定在同步带上,滑块的下端安装在直线导轨上,吸嘴杆固定在滑块的上端,吸嘴杆的一端固定装有吸嘴。在吸嘴杆装在滑块的一端设有一套吸气装置,该吸气装置为在吸嘴杆内有一盲孔,该孔的前端装有吸嘴,吸嘴的侧壁封闭,后端装有一气嘴,该气嘴与产生负压的装置的气管相通。本实用新型可使安装在吸嘴杆上的吸嘴接的是负压,从而给晶片一个向下吸的力,可以使吸嘴与晶片长期摩擦而产生静电的影响不明显,由于该吸力的引导,使放片位置正、稳定。
申请公布号 CN201007987Y 申请公布日期 2008.01.16
申请号 CN200720103445.8 申请日期 2007.02.02
申请人 唐志强 发明人 唐志强
分类号 H01L21/677(2006.01);H01L21/683(2006.01) 主分类号 H01L21/677(2006.01)
代理机构 北京方韬法业专利代理事务所 代理人 吴景曾
主权项 1.一种晶片移栽机放片装置,它包括电机、同步带、滑块、直线导轨、吸嘴杆、吸嘴及晶片载盘座,由电机驱动同步带轮及同步带,滑块固定在同步带上,滑块的下端安装在直线导轨上,吸嘴杆固定在滑块的上端,吸嘴杆的一端固定装有吸嘴;吸嘴位于晶片载盘座的中间位置,晶片载盘置于晶片载盘座上,吸嘴上端在晶片载盘下方;其特征在于:在吸嘴杆装在滑块的一端设有一套吸气装置,该吸气装置为在吸嘴杆内有一盲孔,该孔的前端装有吸嘴,吸嘴侧壁封闭,该孔的后端装有一气嘴,该气嘴与产生负压的装置的气管相通。
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