改进的热固性深紫外抗反射涂料

摘要

蚀刻速率及其它性能改进的抗反射涂料组合物由某些高分子量聚合物和共聚物，特别是甲基丙烯酸缩水甘油酯制备。

主权项

1.一种改进的热固性深紫外抗反射组合物，其包含：a.丙烯酸酯类均聚物或共聚物与吸收深紫外光的羧酸或酚染料的反应产物，所说的反应产物具有与羧酸或酚染料相连的均聚物或共聚物，在羧酸染料的情况下，均聚物或共聚物通过羟酯基团与羧酸相连，在酚染料的情况下，均聚物或共聚物通过羟醚基团与酚染料相连，其中连接基团在反应过程中原位形成；b.选自蜜胺、脲、苯代三聚氰胺、甘脲的烷基化氨基塑料交联剂；c.质子酸催化剂；d.含低至中等沸点即70-180℃的醇的溶剂体系，其包含至少20wt％的醇；其中所述的氨基塑料反应当量与丙烯酸酯类均聚物或共聚物羟基基团的重量比从0.20至2.00，以氨基塑料为基础计的酸催化剂的重量百分数处于5-20wt％之间，涂料中固体含量的总重量百分数在2.5％至10.0％的范围内。