废气的处理方法和装置

摘要

本发明公开了一种对半导体生产线，集成电路器件生产线等所产生的废气进行处理的废气处理装置。被风扇16吸排的废气首先通过进行预过滤的层状活性炭除味过滤器20，将废气中的气相和/或汽相带有异味的物质除去。接着废气通过袋式除尘器14将粉尘等除去。进入袋式除尘器14内的废气已经通过预过滤器12将附着性较强的气相和/或汽相的带有异味的物质除去，因而不会很快造成对袋式除尘器14的堵塞。

主权项

1.一种对废气产生源产生的废气进行处理的废气处理装置，其包括：一种对上述废气产生源产生的上述废气进行收集的装置；将收集起来的上述废气通过其中，而使得废气中的带有气味的物质被吸附的由粒状活性炭组成的多层状活性炭吸附装置；对通过上述活性炭吸附装置的上述废气中的特定物质进行收集的袋式除尘器装置。