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发明名称 HEATER FOR PROCESSING CHAMBER
摘要
申请公布号 KR100794507(B1) 申请公布日期 2008.01.16
申请号 KR20010009057 申请日期 2001.02.22
申请人 发明人
分类号 C23C16/455;H01L21/02;H01J37/32;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
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