| 发明名称 | 真空反应室的射频匹配耦合网络及其配置方法 | ||
| 摘要 | 一种真空反应室的射频匹配耦合网络包括：具有第1至第n个射频源，每一个射频源分别具有不同的频率，其中第1至第n个射频输入端口的频率依次递减，第i频率射频输入端口至输出端口之间构成第i电路，该第i电路在输出端口对除第i频率以外的所有射频源频率具有高阻抗；当第i电路与第i频率射频源连接后，从输出端口往第i电路方向观察测量，其具有在该第i频率下的一第一阻抗值，以及从输出端口往与前述第i电路方向相反的方向观察测量，其具有在该第i频率下的一第二阻抗值，该第一阻抗值和第二阻抗值大致共轭匹配。本发明重量轻、损耗小，从而节省了制造和使用成本。 | ||
| 申请公布号 | CN100362619C | 申请公布日期 | 2008.01.16 |
| 申请号 | CN200510028564.7 | 申请日期 | 2005.08.05 |
| 申请人 | 中微半导体设备(上海)有限公司 | 发明人 | 夏耀民 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H03H7/38(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 逯长明 |
| 主权项 | 1.一种真空反应室的射频匹配耦合网络包括：第1至第n个射频输入端口分别与第1至第n个射频源连接，每一个射频源分别具有不同的频率，以及一个将前述多个射频源能量输出到真空反应室的输出端口，其中第1至第n个射频输入端口的频率依次递减，其特征在于：第i频率射频输入端口至输出端口之间构成第i电路，该第i电路在输出端口对除第i频率以外的所有射频源频率具有高阻抗，i为大于或等于2且小于或等于n的某一个自然数；当第i电路与第i频率射频源连接后，从输出端口往第i电路方向观察测量，其具有在该第i频率下的一第一阻抗值，以及从输出端口往与前述第i电路方向相反的方向观察测量，其具有在该第i频率下的一第二阻抗值，该第一阻抗值和第二阻抗值大致共轭匹配。 | ||
| 地址 | 201201上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号 | ||