| 发明名称 | 正型抗蚀剂组合物及抗蚀图案的形成方法 | ||
| 摘要 | 一种正型抗蚀剂组合物，其中含有在酸的作用下碱溶性增大的树脂成分(A)和通过曝光产生酸的酸产生剂成分(B)，其中上述树脂成分(A)是共聚物(A1)和共聚物(A2)的混合物，所述共聚物(A1)具有衍生自含有酸离解性溶解抑制基的丙烯酸酯的结构单元(a1)、衍生自含有含内酯单环式基的甲基丙烯酸酯的结构单元(a2)和衍生自含有含极性基多环式基的丙烯酸酯的结构单元(a3)，所述共聚物(A2)具有不同于上述共聚物(A1)的结构，而且亲水性低于上述共聚物(A1)。 | ||
| 申请公布号 | CN101107567A | 申请公布日期 | 2008.01.16 |
| 申请号 | CN200680003225.6 | 申请日期 | 2006.01.25 |
| 申请人 | 东京应化工业株式会社 | 发明人 | 竹下优 |
| 分类号 | G03F7/039(2006.01);H01L21/027(2006.01) | 主分类号 | G03F7/039(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 朱丹 |
| 主权项 | 1.一种正型抗蚀剂组合物，其中含有在酸的作用下碱溶性增大的树脂成分(A)和通过曝光产生酸的酸产生剂成分(B)，所述树脂成分(A)是共聚物(A1)和共聚物(A2)的混合物，所述共聚物(A1)具有衍生自含有酸离解性溶解抑制基的丙烯酸酯的结构单元(a1)、衍生自含有含内酯的单环式基的甲基丙烯酸酯的结构单元(a2)和衍生自含有含极性基的多环式基的丙烯酸酯的结构单元(a3)，所述共聚物(A2)具有不同于所述共聚物(A1)的结构，而且亲水性低于所述共聚物(A1)。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||