| 发明名称 | 硅基液晶显示芯片基板的制造及检测方法 | ||
| 摘要 | 一种硅基液晶显示芯片基板的制造及晶圆级检测方法，包括：首先，形成一辅助金属层；然后，形成像素辅助电容；随后，获得检测数据并分析检测数据，检测出LCOS基板缺陷；最后，移除所述辅助金属层。所述辅助金属层涵盖LCOS基板内全部像素单元基板。利用本发明方法可检测LCOS基板缺陷，且不改变LCOS结构及性能。 | ||
| 申请公布号 | CN101106105A | 申请公布日期 | 2008.01.16 |
| 申请号 | CN200610028770.2 | 申请日期 | 2006.07.10 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 黄河;蒲贤勇;毛剑宏 |
| 分类号 | H01L21/822(2006.01);H01L21/66(2006.01);G02F1/1333(2006.01) | 主分类号 | H01L21/822(2006.01) |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 逯长明 |
| 主权项 | 1.一种硅基液晶显示芯片基板制造方法，其特征在于，包括：形成硅基液晶显示芯片基板结构，其中，所述结构中包含复数个像素驱动单元及其上介电层；在所述硅基液晶显示芯片基板结构上淀积一辅助金属层，形成具有复数个像素辅助电容的硅基液晶显示芯片基板检测结构；刻蚀所述辅助金属层及复数个像素驱动单元上表面介电层，露出像素驱动单元上表面；对刻蚀后的硅基液晶显示芯片基板检测结构进行测试；在测试后的硅基液晶显示芯片基板检测结构上沉积一保护层；移除辅助金属层；移除驱动单元上表面介电层，形成硅基液晶显示芯片基板。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 | ||