气体激光器振荡装置

摘要

一种气体激光器振荡装置，其在气体集流部使气体流稳定、可得到更稳定的激光输出或者随时间变化少的激光光束模式。通过第一激励部以及第二激励部的激光气体，分别导入锥状的第一以及第二气体流道内，在气体集流部的点附近集流，成为一个流后进入气体流道内。在这里，来自激励部的气体流，通过气体流道内的偏转元件偏转，通过气体集流部内的靠－X方向，来自激励部的气体流通过气体流道内的偏转元件偏转，通过气体集流部内的靠+X方向。

主权项

1.一种气体激光器振荡装置，具有：用于流过激光器振荡用的介质气体的第一以及第二气体流道(60a，61a，60b，61b)；所述第一以及第二气体流道(60a，61a，60b，61b)集流的集流部(23)；和在所述第一以及第二气体流道(60a，61a，60b，61b)上分别设置的、同时沿同一激光器光轴(4)配置来激励所述介质气体的第一激励部以及第二激励部(3a，3b)，其特征在于，从所述第一激励部(3a)到所述气体集流部(23)的所述第一气体流道(60a，61a)和从所述第二激励部(3b)到所述气体集流部(23)的所述第二气体流道(60b，61b)，具有互相非面对称的结构。