| 发明名称 | 压电物质元件、压电物质膜制造方法、液体排出头以及液体排出装置 | ||
| 摘要 | 一种压电物质元件，其在基板上具有压电物质膜和一对与所述压电物质膜连接的电极，并且所述压电物质膜的主要成分是Pb(Zr，Ti)O<SUB>3</SUB>，Zr/(Zr+Ti)的组成比例大于0.4但小于0.7，所述压电物质膜是至少具有四方晶体a畴和c畴的膜，所述a畴和c畴相对于所述基板表面的角度在±10°的范围内，并且c畴体积与a畴和c畴的总体积之比等于或大于20％并且等于或小于60％。 | ||
| 申请公布号 | CN101107724A | 申请公布日期 | 2008.01.16 |
| 申请号 | CN200680002605.8 | 申请日期 | 2006.01.18 |
| 申请人 | 佳能株式会社;国立大学法人东京工业大学 | 发明人 | 福井哲朗;武田宪一;伊福俊博;舟窪浩;横山信太郎;金容宽;中木宽;上野梨纱子;冈本庄司 |
| 分类号 | H01L41/09(2006.01);H01L41/24(2006.01) | 主分类号 | H01L41/09(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 付建军 |
| 主权项 | 1.一种压电物质元件，其在基板上具有压电物质膜和一对与所述压电物质膜连接的电极，其中所述压电物质膜的主要成分是Pb(Zr，Ti)O3，Zr/(Zr+Ti)的组成比例大于0.4但小于0.7，所述压电物质膜是至少具有四方晶体a畴和c畴的膜，所述a畴和c畴相对于所述基板表面的角度在±10°的范围内，并且c畴体积与a畴和c畴的总体积之比等于或大于20％并且等于或小于60％。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||