发明名称 互补金属氧化物半导体器件
摘要 一种互补金属氧化物半导体器件,包括:半导体衬底;所述半导体衬底上的第一区域、第二区域;所述第一区域和第二区域之间的隔离区;贯穿所述第一区域、隔离区和第二区域的栅区;在所述栅区两侧的第一区域、第二区域中分别形成的源区和漏区。该互补金属氧化物半导体器件结构及形状能够提高晶片面积利用率。
申请公布号 CN101106132A 申请公布日期 2008.01.16
申请号 CN200610028768.5 申请日期 2006.07.10
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 肖德元
分类号 H01L27/092(2006.01) 主分类号 H01L27/092(2006.01)
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 逯长明
主权项 1.一种互补金属氧化物半导体器件,其特征在于包括:半导体衬底;所述半导体衬底上的第一区域、第二区域;所述第一区域和第二区域之间的隔离区;在所述半导体衬底上贯穿所述第一区域、隔离区和第二区域的栅区;在所述栅区两侧的第一区域、第二区域中分别形成的源区和漏区。
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