发明名称 | 互补金属氧化物半导体器件 | ||
摘要 | 一种互补金属氧化物半导体器件,包括:半导体衬底;所述半导体衬底上的第一区域、第二区域;所述第一区域和第二区域之间的隔离区;贯穿所述第一区域、隔离区和第二区域的栅区;在所述栅区两侧的第一区域、第二区域中分别形成的源区和漏区。该互补金属氧化物半导体器件结构及形状能够提高晶片面积利用率。 | ||
申请公布号 | CN101106132A | 申请公布日期 | 2008.01.16 |
申请号 | CN200610028768.5 | 申请日期 | 2006.07.10 |
申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 肖德元 |
分类号 | H01L27/092(2006.01) | 主分类号 | H01L27/092(2006.01) |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 逯长明 |
主权项 | 1.一种互补金属氧化物半导体器件,其特征在于包括:半导体衬底;所述半导体衬底上的第一区域、第二区域;所述第一区域和第二区域之间的隔离区;在所述半导体衬底上贯穿所述第一区域、隔离区和第二区域的栅区;在所述栅区两侧的第一区域、第二区域中分别形成的源区和漏区。 | ||
地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 |