基板处理装置、许可管理程序、许可信息提供装置、许可信息提供程序、许可管理系统和记录介质

摘要

本发明提供一种根据基于软件的控制对基板进行处理的基板处理装置，包括：许可信息接收单元，定期从通过网络连接的许可信息提供装置接收上述软件的许可信息；许可信息解析单元，从上述许可信息取出上述许可信息提供装置在网络上的地址信息；和许可判定单元，将从上述许可信息取出的上述地址信息与预先保存在该基板处理装置中的上述许可信息提供装置的上述地址信息进行比较。在两个上述地址信息值不一致的情况下，限制上述软件的至少一部分功能的执行。由此，能够妥当地防止在基板处理装置中工作的软件的不正当使用。

主权项

1.一种基板处理装置，根据基于软件的控制对基板进行处理，其特征在于：包括：许可信息接收单元，定期从通过网络连接的许可信息提供装置接收所述软件的许可信息；许可信息解析单元，从所述许可信息取出所述许可信息提供装置在网络上的地址信息；和许可判定单元，将从所述许可信息取出的所述地址信息与预先保存在该基板处理装置中的所述许可信息提供装置的所述地址信息进行比较，在两个所述地址信息的值不一致的情况下，限制所述软件的至少一部分功能的执行。