发明名称 栅极控制变容管
摘要 本实用新型公开的是压控振荡器中用来产生振荡频率的栅极控制变容管,该变容管含有埋层、深磷体和场氧体。深磷体为筒状,其下、上端分别与埋层上表面和场氧体下表面相接,场氧体的下表面中间有下极板,埋层、深磷体、下极板和场氧体之间有外延体。与下极板相应的场氧体上有开口,开口处有栅氧体和多晶体。多晶体上表面上有电容控制端子,下表面上有凹坑。与凹坑相对应的栅氧体上有通孔,凹坑和通孔内有场氧体块,场氧体块的上、下表面分别与凹坑的坑底和栅氧体相接触。场氧体边沿上有电源端子,该电源端子与深磷体相接触。多晶体一侧的场氧体上亦有通孔,通孔内有基准电位端子,基准电位端子与下极板相接触。本实用新型频率范宽、能确保压控振荡器的起振。
申请公布号 CN201007994Y 申请公布日期 2008.01.16
申请号 CN200720033609.4 申请日期 2007.01.15
申请人 无锡硅动力微电子股份有限公司 发明人 丁国华;周烨;贺洁;胡斌;周金风
分类号 H01L29/93(2006.01) 主分类号 H01L29/93(2006.01)
代理机构 代理人
主权项 1.栅极控制变容管,其特征在于含有埋层(10)、深磷体(7)和场氧体(5);深磷体(7)为筒状,其下端与埋层(10)上表面相连,其上端与场氧体(5)下表面相接,场氧体(5)的下表面中间接有下极板(6),埋层(10)、深磷体(7)、下极板(6)和场氧体(5)之间有外延体(8);与下极板(6)相应的场氧体(5)上有开口,且该开口小于下极板(6);开口处有栅氧体(9)和多晶体(4),栅氧体(9)和多晶体(4)的四周与场氧体(5)的开口四周相接;其中,多晶体(4)的中间部分向上凸起,向上凸起部分的上表面上有电容控制端子(1),下表面上有凹坑;与凹坑相对应的栅氧体(9)上有与凹坑大小相同的通孔,凹坑和通孔内有场氧体块,该场氧体块的厚度是凹坑的深度和栅氧体(9)的厚度之和,使得场氧体块的上、下表面分别与凹坑的坑底和栅氧体(9)相接触;场氧体(5)边沿上有通孔,通孔内有电源端子(2),该电源端子为合金材料,其下端与深磷体(7)的上端相接触;多晶体(4)一侧的场氧体(5)上亦有通孔,该通孔与下极板(6)的上表面相对应,其内有基准电位端子(3),基准电位端子(3)的下端与下极板(6)的上表面相接触。
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