| 发明名称 |
POLISHING TAPE AND POLISHING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1813388(A4) |
申请公布日期 |
2008.01.16 |
| 申请号 |
EP20050765702 |
申请日期 |
2005.07.13 |
| 申请人 |
NIHON MICROCOATING CO., LTD. |
发明人 |
KUMASAKA, NORIYUKI |
| 分类号 |
B24D11/00;B24B9/00;B24B21/00;B24D3/00;H01L21/304 |
主分类号 |
B24D11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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