发明名称 环境友好的无电镀铜组合物
摘要 揭示了无电铜镀浴和铜合金镀浴。这些无电镀浴是不含甲醛的,是环境友好的。这些无电镀浴是稳定的,在基板上沉积明亮的铜。
申请公布号 CN101104929A 申请公布日期 2008.01.16
申请号 CN200710127867.3 申请日期 2007.07.06
申请人 罗门哈斯电子材料有限公司 发明人 M·A·普尔;A·J·科布雷;A·辛格;D·V·赫斯特
分类号 C23C18/40(2006.01) 主分类号 C23C18/40(2006.01)
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 沙永生
主权项 1.一种组合物,其包含一种或多种铜离子源,一种或多种硫代羧酸、二羟乙酸及其盐,和一种或多种用来将所述组合物保持在碱性状态的碱性化合物。
地址 美国马萨诸塞州