发明名称 | 环境友好的无电镀铜组合物 | ||
摘要 | 揭示了无电铜镀浴和铜合金镀浴。这些无电镀浴是不含甲醛的,是环境友好的。这些无电镀浴是稳定的,在基板上沉积明亮的铜。 | ||
申请公布号 | CN101104929A | 申请公布日期 | 2008.01.16 |
申请号 | CN200710127867.3 | 申请日期 | 2007.07.06 |
申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司 | 发明人 | M·A·普尔;A·J·科布雷;A·辛格;D·V·赫斯特 |
分类号 | C23C18/40(2006.01) | 主分类号 | C23C18/40(2006.01) |
代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 沙永生 |
主权项 | 1.一种组合物,其包含一种或多种铜离子源,一种或多种硫代羧酸、二羟乙酸及其盐,和一种或多种用来将所述组合物保持在碱性状态的碱性化合物。 | ||
地址 | 美国马萨诸塞州 |