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发明名称 Load-lock chamber
摘要
申请公布号 KR100794649(B1) 申请公布日期 2008.01.14
申请号 KR20060019994 申请日期 2006.03.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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