| 主权项 |
1.一种试料分析装置,包含: 离子产生器,用于产生离子束; 发射机构,用于发射离子束至试料上; 真空容器,用于固持试料于其中; 至少一检测口,用于选择性地导引该真空容器外侧 的散发离子,当发射自该发射机构的离子束与试料 碰撞时,散发离子系在预定散射角度由试料散射于 数个散射方向; 光谱量测单元,用于量测导引穿过该检测口的散发 离子的光谱;及 量测单元移位构件,用于移动光谱量测单元以使该 光谱量测单元系依据散发离子的该数个散射方向 而定位。 2.如申请专利范围第1项之试料分析装置,其中该至 少一检测口包含数个配置在该真空容器上之检测 口, 且,该量测单元移位构件系配置于该真空容器的附 近,以使光谱量测单元系移于绕着离子束的照射点 之圆弧,该离子束射至该真空容器中的试料,藉此, 该光谱量测单元系依据该数个检测口而定位。 3.如申请专利范围第2项之试料分析装置,另包含密 封连接单元,用于密封地连接该光谱量测单元至该 检测口的每一者,光谱量测单元系依据各检测口而 定位。 4.如申请专利范围第1项之试料分析装置,其中该量 测单元移位构件系配置于该真空容器的附近之拱 形轨,且,该光谱量测单元系沿着该轨而移位。 5.如申请专利范围第1项之试料分析装置,另包含检 测口移位单元,用于移动配置在该真空容器上之检 测口,以使该检测口系依据散发离子的该数个散射 方向而定位。 6.如申请专利范围第5项之试料分析装置,其中该真 空容器系由固持试料于其中的固定容器及可移动 容器而组成的,该可移动容器密封且滑动地连接至 该固定容器且设有该检测口,及,该检测口移位单 元能够使该可移动容器滑动以使该检测口被移位 。 7.如申请专利范围第1项之试料分析装置,其中该发 射机构发射离子束至试料上于垂直方向。 8.如申请专利范围第1项之试料分析装置,另包含弯 曲单元,用于弯曲发射自该离子产生器的离子束于 水平方向,以使离子束传播于垂直方向,且,该发射 机构经由该弯曲单元于垂直方向而发射离子束至 试料上。 9.如申请专利范围第1项之试料分析装置,另包含试 料供应单元,用于在水平方向将试料供应至该真空 容器中。 10.如申请专利范围第1项之试料分析装置,另包含 试料固持单元,用于可旋转地固持试料,该试料固 持单元系配置在该光谱量测单元相对于射至该真 空容器中的试料之离子束的照射点的反向。 11.如申请专利范围第1项之试料分析装置,其中该 试料分析装置系卢瑟福背向散射分光仪。 12.一种试料分析装置,包含: 离子产生器,用于产生离子束; 发射机构,用于发射离子束至试料上; 真空容器,用于固持试料于其中; 至少一检测口,用于选择性地导引该真空容器外侧 的散发离子,当发射自该发射机构的离子束与试料 碰撞时,散发离子系在预定散射角度由试料散射于 数个散射方向;及 光谱量测单元,用于量测导引穿过该检测口的散发 离子的光谱; 其中该发射机构发射离子束入试料于垂直方向。 13.如申请专利范围第12项之试料分析装置,其中另 包含弯曲单元,用于弯曲发射自该离子产生器的离 子束于水平方向,以使离子束传播于垂直方向,且, 该发射机构经由该弯曲单元于垂直方向而发射离 子束至试料上。 14.如申请专利范围第12项之试料分析装置,另包含 试料供应单元,用于在水平方向将试料供应至该真 空容器中。 15.如申请专利范围第12项之试料分析装置,另包含 试料固持单元,用于可旋转地固持试料,该试料固 持单元系配置在该光谱量测单元相对于射至该真 空容器中的试料之离子束的照射点的反向。 16.如申请专利范围第12项之试料分析装置,其中该 试料分析装置系卢瑟福背向散射分光仪。 图式简单说明: 图1系依据本发明的第一实施例之卢瑟福背向散射 分光仪X1的侧视图; 图2系依据本发明的第一实施例之卢瑟福背向散射 分光仪Xl的横截面图; 图3A系依据本发明的第二实施例之卢瑟福背向散 射分光仪X2的侧视图; 图3B系沿着图3A的线IIIB-IIIB所取之横截面图; 图4系依据本发明的第三实施例之卢瑟福背向散射 分光仪X3的侧视图; 图5A系图4所示的卢瑟福背向散射分光仪X3中之真 空容器及其周边的放大图; 图5B系图5A所示之连接部及其周边的详细图; 图6A系习知类型的卢瑟福背向散射分光仪Y的顶视 图; 图6B系卢瑟福背向散射分光仪Y的侧视图。 |
