| 主权项 |
1.一种微型雾化器,其包含: 一承载底座,系配置于该微型雾化器之最底部; 一压电致动器,系配置于该承载底座之上,于外加 一电源后会产生一驱动频率系不大于20KHz之双模 震动模态; 一薄型微喷孔片,配置于该压电致动器之上其制作 方式为微机电方式结合薄件微射出成型技术,用于 样品之喷洒; 一液体储存元件,设置于该压电致动器之上,具有 一第一活动窗口与连接至该薄型微喷孔片之一液 体流出口;以及 一补充液体储存元件,连接至该液体储存元件,具 有与该第一活动窗口连接之一第二活动窗口,用以 填充补充液体。 2.如专利申请范围第1项之微型雾化器,其中该压电 致动器至少包含: 一金属导电层,连接至一外加电源;以及 一压电薄膜,配置于该金属导电层之上,用于外加 该电源后产生一震动模态,藉由该震动模态可将液 体由该薄型微喷孔片之该液体流出口喷洒出去;其 中该压电致动器之震动模态系为一驱动频率系不 大于20KHz之双模震动模态。 3.如专利申请范围第1项之微型雾化器,其中该压电 致动器藉由驱动频率系不大于20KHz之双模震动模 态将液体挤压喷出以达到雾化效果。 4.如专利申请范围第2项之微型雾化器,其中该该压 电薄膜系选自氧化锌(ZnO)、氮化铝(AlN)、锆钛酸铅 (PZT)或铌酸锂等压电薄膜之一。 5.如专利申请范围第1项之微型雾化器,其中该薄型 微喷孔片更包含: 一基板,作为该薄型微喷孔片之底材; 复数个第一圆形孔径之凹洞,形成该基板之上;以 及 复数个第二圆形孔径之凹洞,形成该基板之上且相 对于该些第一圆形孔径之凹洞; 其中该些第一圆形孔径之凹洞与该些第二圆形孔 径之凹洞系作为该薄型微喷孔片之样品喷洒之该 液体流出口。 6.如专利申请范围第1项之微型雾化器,其中该薄型 微喷孔片之制作方式系为微机电方式结合薄件微 射出成型技术。 7.如专利申请范围第4项之微型雾化器,其中该薄型 微喷孔片之该些第一与第二圆形孔径之凹洞系形 成一圆形阵列。 8.如专利申请范围第4项之微型雾化器,其中该基板 之材料系为一高分子材料。 9.如专利申请范围第7项之微型雾化器,其中该高分 子材料系选自压克力(PMMA)、聚碳酸酯(PC)与聚二甲 矽氧烷(PDMS)所组成之族群中之一。 10.如专利申请范围第1项之微型雾化器,其中该压 电致动器于动作时之消耗功率系不大于1瓦特(Watt) 。 11.一种薄型微喷孔片之制造方法,主要包含下列步 骤: 提供一基板; 于该基板上,形成复数个第一圆形孔径之凹洞; 于该基板上,相对于该些第一圆形孔径之凹洞上, 形成孔径更大之复数个第二圆形孔径之凹洞; 形成一金属层于该些第一与第二圆形孔径之凹洞 上;以及 以该金属层为模仁,形成该薄型微喷孔片。 12.如专利申请范围第10项之薄型微喷孔片之制造 方法,其中形成该薄型微喷孔片之步骤系为射出成 形技术。 13.如专利申请范围第10项之薄型微喷孔片之制造 方法,其中形成该薄型微喷孔片之步骤系更包含: 以一高分子材料填入该基板之该些第一与第二圆 形孔径之凹洞内; 以一温度固化该高分子材料;以及 以射出方式将该固化之高分子材料脱模。 14.如专利申请范围第10项之薄型微喷孔片之制造 方法,其中该薄型微喷孔片之该些第一与第二圆形 孔径之凹洞系形成一圆形阵列。 15.如专利申请范围第12项之薄型微喷孔片之制造 方法,其中该高分子材料系选自压克力(PMMA)、聚碳 酸酯(PC)与聚二甲矽氧烷(PDMS)所组成之族群中之一 。 16.如专利申请范围第10项之薄型微喷孔片之制造 方法,其中该薄型微喷孔片系可作为一雾化器之样 品喷洒之出口。 图式简单说明: 第1a图显示为本发明之微型雾化器之立体图; 第1b图显示为本发明之微型雾化器之侧视图; 第2图显示为压电致动器之结构示意图; 第3a图显示为薄型微喷孔片之上视图; 第3b图显示为薄型微喷孔片之电子显微镜(SEM)照片 ; 第4图显示为薄型微喷孔片之制程步骤;以及 第5图显示为应用本发明之微型雾化器于质谱分析 结果图。 |
