主权项 |
1.一种微气隙奈米放电保护元件,系设有一基板,基 板的板面上设有电极连接用导体及放电电极,在放 电电极之间并形成有一微间隙,其特征在于:所述 之电极系含有奈米材料者。 2.如申请专利范围第1项之微气隙奈米放电保护元 件,其中所述电极之奈米材料可为奈米线、奈米管 或奈米粒子。 3.如申请专利范围第1项之微气隙奈米放电保护元 件,其中所述电极之奈米材料,得以涂覆、成长等 方式形成于放电电极。 4.如申请专利范围第1项之微气隙奈米放电保护元 件,其中所述电极之微间隙间系填充有惰性气体。 5.如申请专利范围第1项之微气隙奈米放电保护元 件,其中所述之基板得为单基板或由两基板上下相 对叠合而成。 6.如申请专利范围第5项之微气隙奈米放电保护元 件,其中所述之基板为两基板上下相对叠合而成时 ,电极系形成于两基板之间。 7.如申请专利范围第6项之微气隙奈末放电保护元 件,其中所述之基板为两基板上下相对叠合而成时 ,于电极之奈米材料亦得以奈米级金属电极胶印刷 所成。 图式简单说明: 第1图系本创作之结构剖面图。 第2图系本创作之局部放大剖面图。 第3A图系本创作之另一实施例制造步骤第一示图 。 第3B图系本创作之另一实施例制造步骤第二示图 。 第3C图系本创作之另一实施例制造步骤第三示图 。 |