发明名称 底部散热器
摘要 本发明的实施例系提出一种微电子装置,具有置于晶片与电性连接至晶片的基板之间的散热器。对于本发明的一实施例而言,散热器系由具有热膨胀系数约等于晶片的热膨胀系数之散热片所组成。
申请公布号 TWI292611 申请公布日期 2008.01.11
申请号 TW094121233 申请日期 2005.06.24
申请人 英特尔股份有限公司 发明人 达尔 黑奇特;罗伯特 尼可森;布莱恩 塔吉特
分类号 H01L23/34(2006.01);H01L23/367(2006.01) 主分类号 H01L23/34(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 1.一种电子装置,包括: 一基板,包含一贯孔; 一晶片,电性耦接至该贯孔;以及 一散热器,系由具有热膨胀系数约等于该晶片的热 膨胀系数之散热片所组成,该散热片具有比该晶片 的面积为大的面积,且延伸于该贯孔上,该散热器 系置于该基板及该晶片之间,以在该晶片及该贯孔 之间提供一热传导及电阻性路径。 2.如申请专利范围第1项之装置,更包括: 印刷电路板,电性耦接至该基板。 3.如申请专利范围第2项之装置,其中一个或多个导 热孔系形成为穿过该基底,以将来自该基板的热传 导至该印刷电路板。 4.如申请专利范围第3项之装置,其中该散热器的面 积大于该晶片的面积。 5.如申请专利范围第1项之装置,更包括: 第二晶片,堆叠于该晶片上,并且电性耦接至该晶 片及该基板中的至少之一。 6.如申请专利范围第1项之装置,其中该晶片系以一 个或多个打线接合而电性耦接至该基板。 7.如申请专利范围第5项之装置,其中该晶片具有形 成于其中的电子电路,用以实施逻辑处理器。 8.如申请专利范围第7项之装置,更包括: 一个或多个额外晶片,相继堆叠于该第二晶片上, 每一该等一个或多个额外晶片系电性耦接至另一 晶片或该基板中的至少之一。 9.如申请专利范围第1项之装置,其中该晶片及该散 热器基本上均由矽所组成。 10.一种电子系统,包括: 逻辑处理器装置,实施于第一晶片上; 基板,包含一贯孔,电性耦接至该逻辑处理器装置, 并且使该逻辑处理器装置耦接至印刷电路板;以及 散热器,由具有热膨胀系数约等于该第一晶片的热 膨胀系数之散热片所组成,该散热片具有比该第一 晶片的面积为大的面积,且延伸于该贯孔上,该散 热器系置于该基板及该第一晶片之间,以在该第一 晶片及该贯孔之间提供一热传导及电阻性路径。 11.如申请专利范围第10项之系统,更包括:记忆装置 ,耦接至该逻辑处理器装置,该记忆装置实施于第 二晶片上,该第二晶片堆叠于该第一晶片的顶侧上 。 12.如申请专利范围第11项之系统,其中该第一晶片 基本上系由矽所组成,并且该散热片的热膨胀系数 约为1.48W/cmK。 13.如申请专利范围第11项之系统,其中一个或多个 导热孔系经过该基底而形成,以将来自该基板的热 传导至该印刷电路板。 14.如申请专利范围第13项之系统,其中该散热器的 面积大于该第一晶片的面积。 15.如申请专利范围第11项之系统,其中该基板系以 打线接合而电性耦接至该逻辑处理器装置及该记 忆装置。 16.如申请专利范围第10项之系统,更包括: 一个或多个额外晶片,连续堆叠于该第一晶片上, 该一个或多个额外晶片中的每一晶片系电性耦接 至另一晶片或该基板中的至少之一。 17.如申请专利范围第10项之系统,其中该第一晶片 及该散热器基本上均由矽所组成。 18.一种电子装置之制造方法,该电子装置具有置于 晶片与基板之间的散热器,包括: 提供具有一上表面、一下表面及一延伸于其等之 间的贯孔的基板; 使散热器附着于该上表面,以提供一热传导及电阻 性路径给该贯孔,该散热器系由具有热膨胀系数约 等于该晶片的热膨胀系数之散热片所组成,该散热 片具有比该晶片的面积为大的面积; 将该晶片堆叠于该散热器上;以及 使该晶片电性耦接至该贯孔。 19.如申请专利范围第18项之方法,更包括: 印刷电路板,电性耦接至该基板。 20.如申请专利范围第19项之方法,其中一个或多个 导热孔系经过该基底而形成,以将来自该基板的热 传导至该印刷电路板。 21.如申请专利范围第20项之方法,其中该散热器的 面积大于该晶片的面积。 22.如申请专利范围第18项之方法,更包括: 将第二晶片堆叠于该晶片上;以及 使该第二晶片电性耦接至该晶片及该基板中的至 少之一。 23.如申请专利范围第18项之方法,其中该晶片系以 一个或多个打线接合而电性耦接至该基板。 24.如申请专利范围第22项之方法,其中该晶片具有 形成于其中的电子电路,用以实施逻辑处理器。 25.如申请专利范围第24项之方法,更包括: 将一个或多个额外晶片连续堆叠于该第二晶片上; 以及 使每一该等一个或多个额外晶片电性耦接至另一 晶片或该基板中的至少之一。 26.如申请专利范围第18项之方法,其中该晶片及该 散热器基本上均由矽所组成。 图式简单说明: 图1系绘示根据习知技术之打线接合装置; 图1A系绘示根据习知技术之堆叠晶片装置; 图2系绘示根据本发明的一实施例之具有底部散热 器的微电子装置; 图3系绘示根据本发明的一实施例之具有底部散热 器的堆叠晶片微电子装置;以及 图4系绘示制造具有底部散热器的微电子装置之程 序。
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