APPARATUS AND METHOD FOR SEPARATING AND TRANSPORTING SUBSTRATES

摘要

Die Erfindung bezieht sich insbesondere auf ein Vereinzeln und Transportieren eines scheibenförmigen Substrats (102; 202) wie beispielsweise eines Solarwafers. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass Vereinzelungen innerhalb eines Fluids stattfinden, und dass zwischen einem Greifer (108; 208) und dem zu vereinzelnden Substrat (102; 202) aufgrund eines dünnen Fluidfilms Adhäsionskräfte entstehen, die ein Anhaften an dem Greifer (108; 208) ermöglichen. Durch die Entnahme quer zur Vorschubrichtung (105; 205) oder insbesondere parallel zur flächigen Ausbildung der Substrate (102; 202) ist eine sehr schonende und effiziente Vereinzelung von scheibenförmig gestalteten Substraten (102; 202) mit einer hohen Takt zeit möglich.