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发明名称 Anordnung zur Herstellung von Löthöckern auf Halbleitersubstraten unter Generierung elektrischer Ladung, Methode und Anordnung zum Entfernen dieser Ladungen, und elektrische Ladung generierendes Halbleitersubstrat
摘要
申请公布号 DE60037251(D1) 申请公布日期 2008.01.10
申请号 DE20006037251 申请日期 2000.06.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO. LTD. 发明人 NARITA, SHORIKI;TSUBOI, YASUTAKA;IKEYA, MASAHIKO;MAE, TAKAHARU;KANAYAMA, SHINJI
分类号 H01L21/60;H01L21/00;H01L41/22 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
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