| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD OF CHEMICAL SEPARATION |
| 摘要 |
An apparatus and method for processing substrates such as silicon wafers, wherein process chemi
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| 申请公布号 |
WO2007070702(A3) |
申请公布日期 |
2008.01.10 |
| 申请号 |
WO2006US48082 |
申请日期 |
2006.12.15 |
| 申请人 |
SOLID STATE EQUIPMENT CORPORATION;ITZKOWITZ, HERMAN |
发明人 |
ITZKOWITZ, HERMAN |
| 分类号 |
B08B3/00 |
主分类号 |
B08B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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